因業(yè)務(wù)調(diào)整,部分個(gè)人測(cè)試暫不接受委托,望見諒。
檢測(cè)項(xiàng)目
Ra(輪廓算術(shù)平均偏差)、Rz(最大高度粗糙度)、Rq(均方根粗糙度)、Rt(總高度)、Rp(最大峰高)、Rv(最大谷深)、Rsk(偏斜度)、Rku(陡度)、Rsm(輪廓單元平均寬度)、Rmr(材料比率曲線)、Pc(峰計(jì)數(shù))、λq(均方根波長(zhǎng))、Sa(三維算術(shù)平均高度)、Sq(三維均方根高度)、Sz(三維最大高度)、Sdr(界面擴(kuò)展比)、Vmp(峰值材料體積)、Vvv(谷值空隙體積)、PSD(功率譜密度)、ACF(自相關(guān)函數(shù))、RMS梯度、分形維數(shù)、各向異性指數(shù)、表面支承指數(shù)、波紋度分離參數(shù)、濾波截止波長(zhǎng)、局部斜率分布、微凸體分布密度、接觸剛度系數(shù)、彈性變形量預(yù)測(cè)
檢測(cè)范圍
光學(xué)透鏡、棱鏡鍍膜面、晶圓拋光面、MEMS器件結(jié)構(gòu)層、磁頭滑軌面、精密軸承滾道、注射模具型腔、刀具切削刃口、渦輪葉片氣膜孔、光纖端面、藍(lán)寶石窗口片、光刻掩模版、真空鍍膜基板、微流控芯片通道、納米壓印模板、磁盤存儲(chǔ)介質(zhì)、激光諧振腔鏡面、紅外探測(cè)器窗口、生物醫(yī)學(xué)植入體表面、燃料電池雙極板、航天器熱控涂層、X射線反射鏡、原子鐘諧振腔體、量子計(jì)算芯片基底、超導(dǎo)薄膜表面、納米壓痕測(cè)試區(qū)域、微機(jī)電彈簧接觸面、光子晶體結(jié)構(gòu)面、微陣列探針尖端
檢測(cè)方法
1.白光干涉顯微術(shù):利用寬帶光源產(chǎn)生干涉條紋,通過(guò)相移算法重建三維形貌,測(cè)量范圍0.1nm-1mm2.激光共聚焦顯微術(shù):采用點(diǎn)掃描方式獲取層析圖像,軸向分辨率達(dá)10nm,適合陡峭側(cè)壁測(cè)量3.原子力顯微術(shù)(AFM):探針接觸式掃描實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率,可測(cè)0.1nm-10μm范圍的表面特征4.焦點(diǎn)變化顯微術(shù):通過(guò)快速變焦獲取景深信息,適用于大傾角表面(可達(dá)87)的粗糙度分析5.數(shù)字全息顯微術(shù):記錄并重建物光波前相位信息,實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)過(guò)程的三維形貌實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)6.散射光分析法:基于光散射強(qiáng)度與表面統(tǒng)計(jì)參數(shù)的相關(guān)性進(jìn)行快速在線檢測(cè)7.電子隧道顯微術(shù)(STM):在真空環(huán)境下探測(cè)電子隧道電流變化,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)表面成像8.X射線反射法:通過(guò)X射線反射率曲線反演表面粗糙度參數(shù)及薄膜厚度信息9.觸針式輪廓術(shù):機(jī)械探針接觸掃描獲得二維輪廓數(shù)據(jù),符合傳統(tǒng)粗糙度評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)10.數(shù)字圖像相關(guān)法:結(jié)合顯微成像與圖像處理算法提取亞像素級(jí)位移場(chǎng)
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
ISO4287:1997產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu):輪廓法術(shù)語(yǔ)定義及表面參數(shù)ISO25178-2:2022產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu):區(qū)域法第2部分:術(shù)語(yǔ)定義及表面紋理參數(shù)ASMEB46.1-2019表面紋理標(biāo)準(zhǔn):表面粗糙度,波紋度和紋理方向GB/T3505-2020產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語(yǔ)定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)ASTME284-22光學(xué)和觸覺表面紋理測(cè)量相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語(yǔ)DINENISO13565-2:1998幾何產(chǎn)品規(guī)范(GPS)具有分層功能特性的表面結(jié)構(gòu)JISB0601:2022產(chǎn)品幾何規(guī)格(GPS)-表面紋理:輪廓曲線法-術(shù)語(yǔ),定義及表面紋理參數(shù)ISO/TS16610-22:2015GPS濾波-輪廓濾波器:樣條濾波器VDI/VDE2650-2018光學(xué)三維測(cè)量系統(tǒng)特性描述指南GB/T10610-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法評(píng)定表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則和方法
檢測(cè)儀器
1.ZygoNewView系列白光干涉儀:配置100倍Mirau物鏡實(shí)現(xiàn)0.1nm垂直分辨率,內(nèi)置ISO標(biāo)準(zhǔn)分析模塊2.KeyenceVK-X3000激光共聚焦顯微鏡:配備405nm紫色激光器與高速掃描振鏡系統(tǒng)支持大面積拼接測(cè)量3.BrukerContourGT-K光學(xué)輪廓儀:集成多波段光源與振動(dòng)隔離系統(tǒng)適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境下的納米級(jí)測(cè)量4.ZeissLSM900共聚焦系統(tǒng):采用GaAsP高靈敏度探測(cè)器實(shí)現(xiàn)低反射率表面的高信噪比成像5.ParkSystemsNX20原子力顯微鏡:具備智能掃描模式與熱漂移補(bǔ)償功能保障長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性6.AliconaInfiniteFocusG5變焦顯微鏡:結(jié)合軸向色差原理實(shí)現(xiàn)0.8nm分辨率與大視場(chǎng)快速測(cè)量7.TaylorHobsonCCIHD非接觸式輪廓儀:采用專利相干相關(guān)干涉技術(shù)提升陡坡表面的測(cè)量精度8.SensofarSneox三維光學(xué)輪廓儀:模塊化設(shè)計(jì)支持共聚焦/干涉/焦點(diǎn)變化三種測(cè)量模式自由切換9.MitutoyoSJ-500觸針式粗糙度儀:符合JIS/ISO標(biāo)準(zhǔn)的接觸式測(cè)量系統(tǒng)最高取樣長(zhǎng)度80mm10.BrukerDektakXT臺(tái)階儀:配備12μm半徑觸針實(shí)現(xiàn)薄膜臺(tái)階高度與粗糙度的同步測(cè)量
檢測(cè)流程
1、咨詢:提品資料(說(shuō)明書、規(guī)格書等)
2、確認(rèn)檢測(cè)用途及項(xiàng)目要求
3、填寫檢測(cè)申請(qǐng)表(含公司信息及產(chǎn)品必要信息)
4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測(cè))
5、收到樣品,安排費(fèi)用后進(jìn)行樣品檢測(cè)
6、檢測(cè)出相關(guān)數(shù)據(jù),編寫報(bào)告草件,確認(rèn)信息是否無(wú)誤
7、確認(rèn)完畢后出具報(bào)告正式件
8、寄送報(bào)告原件