因業(yè)務(wù)調(diào)整，部分個(gè)人測(cè)試暫不接受委托，望見(jiàn)諒。

檢測(cè)項(xiàng)目

氫氣分壓：測(cè)量氫氣在真空中的分壓水平。檢測(cè)參數(shù)：范圍0.01-100Pa，精度5%相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差。

氦氣濃度：量化氦氣殘留含量。檢測(cè)參數(shù)：檢出限1e-6Torr，測(cè)量誤差2%滿量程。

水蒸氣含量：分析水汽殘留對(duì)系統(tǒng)的影響。檢測(cè)參數(shù)：相對(duì)濕度0.1-100%RH，分辨率0.01%RH。

氧氣分壓：監(jiān)測(cè)氧氣水平以評(píng)估氧化風(fēng)險(xiǎn)。檢測(cè)參數(shù)：范圍0.001-10Pa，線性度3%讀數(shù)。

氮?dú)鉂舛龋簷z測(cè)氮?dú)鈿埩粲糜谛孤┰\斷。檢測(cè)參數(shù)：靈敏度0.1ppm，重復(fù)性1.5%測(cè)量值。

二氧化碳分壓：量化二氧化碳?xì)怏w成分。檢測(cè)參數(shù)：范圍0.01-50Pa，響應(yīng)時(shí)間小于1秒。

甲烷含量：分析甲烷等輕烴氣體殘留。檢測(cè)參數(shù)：檢出限1e-7mbar，動(dòng)態(tài)范圍1e-9至1e-3mbar。

氬氣濃度：測(cè)量氬氣作為惰性參考?xì)怏w。檢測(cè)參數(shù)：精度2%絕對(duì)誤差，校準(zhǔn)點(diǎn)0.01-100Pa。

一氧化碳分壓：檢測(cè)一氧化碳潛在污染源。檢測(cè)參數(shù)：范圍0.001-5Pa，穩(wěn)定性1%每小時(shí)漂移。

烴類總量：評(píng)估總烴殘留的綜合指標(biāo)。檢測(cè)參數(shù)：綜合測(cè)量范圍1e-9至1e-4mbar，積分誤差5%總濃度。

氨氣分壓：分析氨氣殘留影響系統(tǒng)性能。檢測(cè)參數(shù)：范圍0.005-20Pa，最小可測(cè)濃度0.001Pa。

氪氣濃度：量化氪氣稀有氣體組分。檢測(cè)參數(shù)：靈敏度0.05ppm，校準(zhǔn)曲線R值大于0.99。

硫化氫含量：檢測(cè)硫化氫腐蝕性氣體殘留。檢測(cè)參數(shù)：檢出限0.01ppb，線性范圍0.01-100ppb。

氙氣分壓：測(cè)量氙氣在高真空應(yīng)用中的水平。檢測(cè)參數(shù)：范圍0.001-10Pa，精度1.5%相對(duì)偏差。

檢測(cè)范圍

半導(dǎo)體制造設(shè)備：用于晶圓加工真空腔的殘余氣體監(jiān)控。

航天器真空系統(tǒng)：確?？臻g模擬環(huán)境的潔凈度和安全性。

粒子加速器：維持高真空條件以優(yōu)化粒子束傳輸效率。

核聚變裝置：控制等離子體區(qū)域雜質(zhì)氣體影響聚變反應(yīng)。

真空鍍膜設(shè)備：保證薄膜沉積過(guò)程中的氣體環(huán)境純度。

電子顯微鏡：維持超高真空成像避免樣品污染。

真空泵系統(tǒng)：評(píng)估泵性能、泄漏源和氣體捕集效率。

醫(yī)療真空設(shè)備：用于手術(shù)室和診斷儀器的真空環(huán)境監(jiān)測(cè)。

食品包裝真空：確保產(chǎn)品保質(zhì)期的惰性氣體環(huán)境控制。

科研實(shí)驗(yàn)室真空：支持物理化學(xué)實(shí)驗(yàn)的高精度氣體分析。

核反應(yīng)堆冷卻系統(tǒng)：監(jiān)控冷卻劑真空回路的殘余氣體。

太陽(yáng)能電池制造：優(yōu)化光伏材料沉積真空環(huán)境。

真空爐熱處理：控制金屬處理過(guò)程中的氧化氣體水平。

低溫超導(dǎo)設(shè)備：維持超導(dǎo)磁體真空系統(tǒng)的氣體純度。

環(huán)境模擬艙：用于氣候測(cè)試真空室的殘余氣體評(píng)估。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

依據(jù)ISO15367標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行激光誘導(dǎo)氣體分析。

ASTME595規(guī)范總質(zhì)量損失和揮發(fā)性冷凝物測(cè)量。

GB/T13306真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)定義殘余氣體參數(shù)。

ISO3529真空技術(shù)詞匯統(tǒng)一檢測(cè)方法描述。

GB/T6070殘余氣體分析術(shù)語(yǔ)標(biāo)準(zhǔn)。

ASTMF1375半導(dǎo)體真空系統(tǒng)氣體分析指南。

ISO16000室內(nèi)空氣殘余氣體檢測(cè)擴(kuò)展應(yīng)用。

GB/T20173真空系統(tǒng)性能測(cè)試通用要求。

ISO21360真空泵氣體處理能力評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。

ASTMD6350材料真空出氣特性測(cè)試方法。

檢測(cè)儀器

四極質(zhì)譜儀：一種質(zhì)譜儀器，通過(guò)電場(chǎng)分離離子質(zhì)量電荷比。在本檢測(cè)中，用于精確測(cè)量多種氣體分壓和濃度。

殘余氣體分析儀：專為真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的質(zhì)譜設(shè)備，檢測(cè)殘余氣體組分和動(dòng)態(tài)變化。在本檢測(cè)中，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣體泄漏和污染源。

電離規(guī)質(zhì)譜儀：結(jié)合電離規(guī)和質(zhì)譜技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度氣體分析。在本檢測(cè)中，用于低濃度氣體檢出和定量。

飛行時(shí)間質(zhì)譜儀：通過(guò)離子飛行時(shí)間分離氣體離子，支持快速多組分檢測(cè)。在本檢測(cè)中，用于高效掃描氣體譜圖。

磁扇質(zhì)譜儀：使用磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)離子路徑，提供高分辨率氣體分離。在本檢測(cè)中，用于高精度殘余氣體識(shí)別和量化。

傅里葉變換質(zhì)譜儀：基于離子回旋共振原理，實(shí)現(xiàn)寬范圍質(zhì)量分析。在本檢測(cè)中，用于復(fù)雜氣體混合物的詳細(xì)組分解析。

檢測(cè)流程

1、咨詢：提品資料(說(shuō)明書、規(guī)格書等)

2、確認(rèn)檢測(cè)用途及項(xiàng)目要求

3、填寫檢測(cè)申請(qǐng)表(含公司信息及產(chǎn)品必要信息)

4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測(cè))

5、收到樣品，安排費(fèi)用后進(jìn)行樣品檢測(cè)

6、檢測(cè)出相關(guān)數(shù)據(jù)，編寫報(bào)告草件，確認(rèn)信息是否無(wú)誤

7、確認(rèn)完畢后出具報(bào)告正式件

8、寄送報(bào)告原件